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化院科研动态|新型温室气体——三氟化氮（NF₃）废气减排技术研究进展
NF3是电子工业使用的一种新型蚀刻气体，使用量和废气排放量逐年上升。其温室效应潜值高达17200，存留时间约740年。为了引起世界各国对NF3危害性的认识，2008年联合国环境大会将NF3增列为限制排放的温室气体。因此，有效消除工业过程排放的NF3废气是一件有意义的工作。无水条件下NF3与一些金属氧化物反应而分解，生成的金属氟化物是有用的化学品，且不产生腐蚀性气体HF，操作简单，是分解NF3废气的经济实用方法。
在前期工作（Journal of Environmental Chemical Engineering,2019,7,103192；2020,8,103890；2020,8,104166）基础上，近日徐秀峰教授团队合成了薄片形貌Al₂O₃@Mn₂O₃复合固氟剂，用于分解NF3，显著加快了NF3气体的扩散与反应，提高了固氟剂活性和利用率。研究结果以“Destructive sorption of NF3 as a novel greenhouse gas over Al₂O₃@Mn₂O₃ sorbents with high surface area”为题，发表在Process Safety and Environmental Protection。有关工作为制备高活性高利用率NF3分解固氟剂提供了有益的启示。
该工作第一作者为我院2020级硕士研究生王丽梅，通讯作者为徐秀峰教授。上述工作得到了山东省自然科学基金（重点项目）、烟台市科技创新发展计划（科技领军人才项目）的资助。